平台拥有完善的微纳尺度加工制造,测试和封装成套设备,能够满足传统和新型光电器件的加工制备表征需求。技术服务内容包括:超构材料/Plasmonic器件等纳米结构的制备,芯片解剖与失效分析,光电器件芯片制备,先进纳米显微分析和TEM样品制备等。