超高精度，可在视场上实现微米级精度；

光学反馈技术显著提高热稳定性；

与Aerotech的Nmark gcl控制器一起使用时可达到更高精度要求

更广阔的光圈和焦距范围广；

适应多种激光波长情况的操作；

可搭配Aerotech的IFOV(无限视野)功能；

实现与其他伺服轴的同步；

动态聚焦使生产能力最大化；