一、整套光学系统
·F-Theta场镜焦深长
·系统定位精度:1urad,重复位置精度:2urad
·振镜扫描精密加工,效率高,速度快
·可配套软件支持,也可配套视觉与跟踪系统,实现工艺全功能需求
·可定制:模块化结构,便捷灵活
二、光学元器件
QBH准直模块、F-Theta场镜、反射镜等
·材料:进口超低吸收熔石英
·功率可达:光纤脉冲激光1000W
·损伤阈值: 40J/cm²,10ns
·膜层吸收率:< 20ppm
·准直系统波前:< λ/10
·F-Theta场镜焦深长
·可定制:特殊聚焦能量分布设计