高刚度高承载气浮导轨

产品类别:传感器、测试测量 > 设备、系统光学参量测量系统
产品属性:普通产品
应用领域:半导体、光学、印刷/制图、专业技术服务、非大学研究机构、高等院校、其他

特点:

采用独有的空气节流技术,实现了高压供气气锤振动和微观波动的拟制

优点:

• 非接触零摩擦

• 极低的耗气量节能环保

• 直线电机驱动无回程间隙

• 高承载高刚性应用场景更广阔

• 极小的微观波动适用于精密检测

• 精密光栅尺反馈实现超高定位精度

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