LIBS(激光诱导击穿光谱) 技术是通过纳秒脉冲激光聚焦样品表面形成等离子体， 进而对等离子体发射光谱进行分析以确定样品的物质成分及含量。可以分析任何物态的样品，几乎所有的元素被激发形成等离子体后都会发出特征谱线， 因此， LIBS可以分析大多数的元素。如果要分析的材料成分是已知的， 则LIBS可用于评估每个构成元素的相对丰度，或监测杂质的存在。常见激光LIBS方案，是利用Nd：YAG激光将材料激发成等离子体进而检测样品。其优势在于样品不需复杂的预处理，可实现在现测量，测量时间短，是一种筛选和分级手段。

我司纳秒激光器被全球LIBS集成商广泛集成， 包括德国LTB， 英国Applied Photonics， Atom trace， Spectral instruments等.