产品特点：

采用大理石基台配合高刚性直线导轨，高精度光栅反馈；直线电机轴重复定位精度可达±1um；旋转轴重复定位精度±1.5 arcsec；可实现立体空间6维范围内快速精确的点到点运行；可配合线扫相机、激光器等做飞拍、飞行打标等加工动作；六轴联动模式在行程范围内实现任意曲线的插补运动

应用领域：玻璃薄片检测、玻璃切割、激光加工（异形打标）、晶圆检测、CCD成像、三维形貌扫描等高端制造业。