多图案多周期组合模板，将三种最常用的图案：线栅、四方排布、六方排布。组合模板在一次实验中测试多种图案和多种周期，以节省时间和资源。该组合模板是基于用户反馈涵盖常用的图形和周期范围的结构。该模板是由Eulitha开发的开创性PHABLE光刻机制作的。通过优化硅基和石英基的刻蚀工艺，可得到适合压印的轻微正斜率结构。该组合模板用于实验和开发工作，如果大面积、特殊设计或批量生产需求，请联系我们咨询方案。