Aerotech 的 AGV-SPO 单轴点扫描振镜可为激光微加工关键应用提供更大的视野并减少光斑畸变。独特的光学设计可有效控制光束入射，与扫描振镜 X 轴和 Y 轴方向运动一致，增加了扫描系统的有效数值孔径。这种设计直接为设定焦距提供了更大的视野，并减少了整个工作区域的光斑畸变。这些优势使 AGV-SPO 能够更快地加工大部件并具有更高的一致性。AGV-SPO 提供多种光学涂层和聚焦光学元件，支持各种常用的激光波长和焦距。可根据要求提供定制光学元件和光学装校功能。AGV-SPO 可配置主动冷却功能，例如气冷反射镜、水冷电机或两者兼备，以在激光和激烈运动曲线引起的热干扰下保持工作面精度。AGV-SPO 采用 Aerotech 先进的运动和位置同步输出（PSO）功能。诸如加速度限制之类的轮廓绘制功能可用于自动降低弯角或小半径处的速度，以最大限度地减少过冲。可基于 PSO 反射镜的位置反馈来触发激光，在扫描振镜改变速度时可确保一致的重叠率。Aerotech 的无限视野（IFOV）功能可无缝结合伺服系统和扫描仪运动，从而在各伺服系统阶段的整个行程范围内扩展扫描振镜的标记能力。这消除了在更传统的“移动-曝光-重复”工序中可能发生的拼接误差。