光刻胶/抗蚀剂

产品类别:光学生产技术 > 光学生产辅料
产品属性:普通产品
应用领域:电子(其他)、半导体、非大学研究机构、高等院校

德国ALLRESIST公司是从事光刻用电子化学品研发、生产和销售的专业公司,有丰富的经验和悠久的传统。可以为您提供各种标准工艺所用的紫外光刻胶,电子束光刻胶(抗蚀剂)以及相关工艺中所需要的配套试剂。

产品类型:

1.紫外光刻胶(Photoresist)

各种工艺:喷涂专用胶,化学放大胶,lift-off胶,图形反转胶,高分辨率胶,LIGA用胶等。

各种波长: 深紫外(Deep UV)、I线(i-line)、G线(g-line)、长波(longwave)曝光用光刻胶。

各种厚度: 光刻胶厚度可从几十纳米到上百微米。

2. 电子束光刻胶(电子束抗蚀剂)(E-beam resist)

电子束正胶:PMMA胶,PMMA/MA聚合物, LIGA用胶等。

电子束负胶:高分辨率电子束负胶,化学放大胶(高灵敏度电子束胶)等。

3. 特殊工艺用光刻胶(Special manufacture/experimental sample)

电子束曝光导电胶,耐酸碱保护胶,全息光刻用胶,聚酰亚胺胶(耐高温保护胶)等特殊工艺用胶。

4. 配套试剂(Process chemicals)

显影液、除胶剂、稀释剂、增附剂(粘附剂)、定影液等。

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