上海哈呐双腔磁控溅射镀膜机是一款应用于光学镀膜、3D车载中控屏超硬AR膜、手机相机高清光学镜头超硬AR膜,手机后盖NCVM颜色膜等领域的镀膜设备。
该设备主要由三个部分组成:
前工艺室上下基片和做基片的预处理,溅射镀膜腔一直保持高真空状态下溅射镀膜,保持镀膜环境的一致,两个腔室之间通过移载来转换基片挂板。溅射镀膜腔有4对双靶位,根据需要安装4对相同或不同的靶材,每队靶材可以单独开启或同时开启,可以满足不同膜层设计要求,方便的结构设计更换靶材更加轻松便捷。溅射镀膜腔室带有国际最先进的射频CCR的后氧化功能,不仅提高靶材成膜速度,而且膜层硬度达到超硬膜层,膜层更耐划伤。还可以加其他气体得到更坚硬的特殊膜层。
设备特点:
1. 双腔体结构两个独立的腔室镀膜腔,同时进行镀膜。
2. 射频CCR后氧化镀膜技术镀膜速度快,膜层致密性高。
3. AF 防指纹药丸方式,使用成本低,效果更优。
4. 7平方的装载量超快的镀膜速度单台机的5倍产能。