SGS(Synchronized Galvo and Stage)振镜与平台联动控制解决方案能够实现振镜与平台的联动,突破振镜扫描范围的限制,可对大范围加工图案进行连续扫描,消除拼接误差,并且连续扫描可以极大地提高加工效率。 下载产品资料