六足六自由度定位系统具有中等负荷，超精密六自由度运动平台；

60毫米运行，角向移动30° ，定位精确性有保证；

能够实现在XYZ中20纳米和在θxθyθz中0.2微米弧度的最小增量运动 ；

灵活的配置，定制和真空制备