用（光）高精度检测距离或时间等时，常用法布里－珀罗干涉仪（Fabry-Perot interferometer）。
这个系列的超级反射镜为提高法布里－珀罗干涉仪的性能而开发，超级反射镜的反射率非常接近100%了。
◦采用了离子束溅射（IBS）镀膜方式，获得了细密而无缺陷的高质量光学膜。
◦反射镜基板采用特殊的高精密抛光技术制造，其表面粗糙度小于Ra0.1nm的低散乱基板。
◦发挥多年积累的光学薄膜设计经验，实现了高达99.999%的高反射率。
◦基板和光学膜的散乱损失非常小，用其构建法布里－珀罗腔的话，可得到非常窄的光谱带宽和高锐度。有使用波长为532nm和1064nm的两个系列。
