精度⾼和机⾝尺⼨⼩兼⽽有之的运动控制产品⾮常难于设计。菲克科技经过三年研发,反复测试,终于推出了该系列产品,并成功应⽤于商业化原⼦⼒显微镜。FMSS系列产品采⽤进⼝直线电机,集成⼀体式交叉滚柱导轨和光栅尺,速度均匀性波动在千分之⼀以内。在保证精度、承载前提下,将体积压缩⾄极限。 下载产品资料