1. 展品详情

激光干涉位移传感器

产品类别：传感器、测试测量 > 光学测量系统
产品属性：首发产品（将在慕尼黑光博会上首次展出）
应用领域：航天/航空、半导体

支持三轴测量，测距达5毫米

体积紧凑，易于工业集成

测量精度达正负1ppm

采用法珀干涉原理，可实现高速测角仪功能

兼容10MGy辐射环境。目标值测量带宽达10MHZ.可测位移速度达2m/s

动智精密设备科技（上海）有限公司

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