采用数字微镜阵列 (DMD) 的无掩模扫描式光刻机，365nm波长i-line

直接从数字图形生成光刻图案，无需实体掩模板，支持读取

GDSII和BMP文件

全自动化的对焦和套刻，易于使用

同轴显微系统，允许实时观察及对准

套刻精度： 0.5um (500nm)

500 nm / 1 um分辨率

灰阶曝光（扫描模式下256阶，静态曝光模式下4096阶）

结构紧凑，适用范围广