用于12寸晶圆的大行程直驱运动台
●直线电机驱动，速度 1m/s，最大加速度 2g
●高刚性滚柱导轨，10kg 承载
●高精度光栅尺反馈，亚微米级分辨率
●全封闭防尘设计（无尘拖链）
XYT450晶圆运动台
慕尼黑展览（上海）有限公司
上海市浦东新区世纪大道1788-1800号陆家嘴金控广场T1塔楼11层
邮编 200120
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