瑞荧仪器为晶圆激光加工及光学检测设备提供了一套完整的运动控制及焦点追踪解决方案。方案主要解决了晶圆在XY平面运动时，因多种原因形成高度起伏，导致视觉和激光失焦，无法完成既定任务的情况。
方案基于无限远显微光学系统，将光谱分成不同的应用段，通过滤色片将测距光、视觉光和加工光合束后进入同一物镜，使得视觉识别点、激光加工点和Z轴测焦点做到微米级精确统一。
物镜搭载于快速响应的Z轴直驱运动台上，并用对焦传感器的信号对其进行反馈，实现了物镜焦点锁定。可在晶圆快速运动时也能保证物镜焦点始终处于晶圆表面上，帮助提高视觉识别和加工的稳定性。而在以往方案中三者由于不同轴不同高，晶圆需要反复横向运动，需要更多步骤，并引入多种误差问题。
