说 明 ：

1.产品主体部分选用经时效处理的高强度航空铝制成，保证长期稳定性；

2.超精密级交叉滚子导轨，具有超高精度的轨迹控制；

3.配套具有超低膨胀系数的铟钢光栅系统；

4.采用中心驱动的方式并选用无铁芯直线电机，具有无摩擦、无回程间隙、无滞后等特点，同时具有较高的速度、加速度及系统响应特性。

特点：非接触直接驱动系统、超高精度、极佳的动态性能。

使用场所：半导体晶片检测、传感器测试与检测、激光加工、超精密装配。