型号：LS3-0618NM；
行程（mm）：18；
驱动马达：压电马达；
最大负载（KG）：1.0；
最大速度（mm/s）：100 (开环)；
最小步距（nm）：300 ；
重复定位精度（nm）；+/-500
基体材质：铝合金；
重量（KG）：0.3
无磁真空位移台
型号：LS3-0618NM；
行程（mm）：18；
驱动马达：压电马达；
最大负载（KG）：1.0；
最大速度（mm/s）：100 (开环)；
最小步距（nm）：300 ；
重复定位精度（nm）；+/-500
基体材质：铝合金；
重量（KG）：0.3
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