大理石多轴超稳定位系统

产品类别:激光加工系统 > 激光加工系统组件
产品属性:首发产品(将在慕尼黑光博会上首次展出)
应用领域:半导体

采用新式大理石结构,不同于市面其它产品设计的方式,直接将运动导轨-光栅尺等主要部件安装于大理石基地上,最大程度的降低了环境的干扰。热膨胀小,温漂小。主要用于超精密加工及超精密测量。

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