SICE-Y6用于6英寸的SiC外延工艺，可实现P&N型掺杂。反应腔采用水平热壁式设计，内部设有旋转机构，能够形成稳定的气流场；整个反应腔采用感应线圈加热，能够形成均匀的温度场，从而保证优异的工艺指标。