典型应用：

精密制造 计量检测

变形监测 显微镜

材料测试 震动检测

被测物体与传感器各自作为一个平板电极。通过给传感器一个持续稳定的交流信号，其电压的振幅变化与

传感器到被测物体之间的距离成正比。交流信号经过解调，可以测出位移量。电容式位移传感器具有信噪比

大，灵敏度高，频响宽，非线性小，精度稳定性好，无损耗等特点。