典型应用:
激光加工
激光瞄准
远距离通讯
光学对准
高速偏摆镜采用压电陶瓷驱动,内部使用无回差柔性铰链并联导向结构,采用有限方针分析优化柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。高速偏摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了高速偏摆镜具有极佳的运动控制精度,定位精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,紧凑型设计,可以更好的集成于光学系统。
型号:NS-RB2-01
运动轴:θxθy(Tip/Tilt)
传感器类型:电容式
闭环行程:θx:4 θy:6 mrad
闭环分辨率:0.08 μrad
线性度:0.2 %
无负载谐振频率:1000 Hz
带负载谐振频率(负载重量200g):500Hz
驱动电压:-30~+150V
电缆长度:2m
连接器类型:D-sub15
位移台材料:铟钢或航空铝
最大负载:5 Inch Mirror
体积:130×130×94.5mm