RAITH150 Two作为高分辨电子束光刻机,自推出以来全球销量不容忽视。该系统被广泛地用于研发和纳米技术中心,已证明了系统的24/7使用的稳定性。
RAITH150 Two可实现亚5nm的曝光结构,可处理8”晶元及以下样片。
环境屏蔽罩保证了系统的热稳定性,提高设备对实验室环境的容忍度,即使在相对糟糕的实验室环境下,也能保证系统的正常稳定运行。
RAITH150 Two作为高分辨电子束光刻机,自推出以来全球销量不容忽视。该系统被广泛地用于研发和纳米技术中心,已证明了系统的24/7使用的稳定性。
RAITH150 Two可实现亚5nm的曝光结构,可处理8”晶元及以下样片。
环境屏蔽罩保证了系统的热稳定性,提高设备对实验室环境的容忍度,即使在相对糟糕的实验室环境下,也能保证系统的正常稳定运行。
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