PBATCH实现低温高质量PEALD工艺，可应用在高分子材料衬底等温度敏感的衬底，制备氧化物、氮化物、金属层等应用，最大可支持多片12寸样品。而ALD沉积速率低，限制了生产效率，批次性ALD可大幅提高ALD产能，降低客户使用成本。