产品特性

■非接触式的运动特性

●优异的速度稳定性

■高精度运动和控制技术

●精密驱控技术实现100nm定位及高加速度

应用场景

应用于晶圆测量、外观检测、形貌检测、

厚度检测等晶圆检测stage工作台。

竞争优势

精密、超精密加工，自主加工检测、装配、测试、集成能力

核心气浮仿真技术

高度定制化全面解决方案

超精密专家研发和专业的工程团队

提供从设计、加工、生产、装配、校准、测试、售后全程服务