适用于高功率,脉冲Nd-YAG激光(或Yb-YLF激光)或准分子激光的光学系统的反射镜。
◦可以提供用于YAG激光器的,从基波(1064nm)到4次谐波(266nm)的反射镜和ArF(193nm),KrF(248nm)的准分子激光用的反射镜。
◦反射率高,经过多个反射镜反射后,光量也不会衰减很多。
◦使用吸收小的电介质膜,可以承受大功率激光的连续照射。
通用指标
材质:BK7
镀膜:多层电介质膜
入射角度:45°±3°
基板面型精度:λ/10
平行度:<3′
表面质量:10−5
有效直径:外径的90%
反面:光学抛光