高级智能数字式正置材料显微镜,适合晶圆、电子元器件、金属、陶瓷、高分子材料、粉尘颗粒等样品的观察分析,多种安全设计,保护样品,镜头及观察者
> 模块化设计,可实现透反射观察配置
> 复消色差光路,整体光路支持25 mm视野直径
> 可选配UV光源,提高观察分辨率至亚微米结构,UV由大功率LED产生,具有UV和0UV功能
> 8”x8”、12”x12”大样品台,可观察晶圆,LCD等大尺寸样品
> 6孔位电动物镜转盘,配接32mm直径长工作距离工业物镜
> 内置电动或手动调焦系统
> 可选配0.7X宏观物镜,具有宏观晶圆检查功能
> 可实现明场、暗场、偏光、干涉和斜照明等观察方式
> 机身内置LED透、反射照明电源,智能光强变化控制照明方式
> 能自动记忆在不同物镜下和不同观察方式下光强、光阑大小及聚光镜的组合,自动恢复到位,操作简单快速
> 具有色温恒定系统,提供工作效率
> 可提供软件开发工具包,支持自主化定制