通过对平行平面基板和楔形基板进行特殊的抛光，表面粗糙度控制在0.2nm（Ra）以下。

可以作为需要减少基板的散射影响的高能量激光用反射镜或X线用反射镜的基板使用。

◦楔形基板用于希望清除分光镜等反面反射的影响时。

◦ CaF2（氟化钙），MgF2（氟化镁）在紫外谱区和红外谱区具有较高的透过性。

◦ 表面粗糙度（微观的凹凸）和面型精度（面整体的平坦程度）都进行了高精度加工，基板接近理想平面。