PhableR系列光刻机,同时具备高分辨曝光性能和低成本的特点,是一款高性价比的桌面式光刻机。工艺和操作类似于传统的mask-aligner方式曝光机,涂有光刻胶的基片接近光刻版下方,经过紫外或深紫外光束的照射光刻版对光刻胶进行曝光。得益于DTL技术,曝光分辨率不再受到衍射效应的限制,使曝光亚微米周期的一维线栅、二维图案(例如六方或四方排布的图案)具有高均匀性和高精确度。
应用领域:
多用途的学术科研及研发
XR(AR/VR/MR)
光电子器件
光学器件
生物/医疗
结构色
曝光服务