- 材料：熔融石英、硅

- 8"晶圆级

- 二元、8阶、16阶

- 0.5μm的最小特征尺寸

- < 70nm套刻精度

- 衍射效率高达98%

- 190nm至5μm波长范围

技术指标

基于硅或熔融石英材质的衍射微纳光学元器件，2阶至16阶衍射元件设计，最小特征尺寸在500 nm 至1 μm，套刻误差小于70 nm，效率最高可达96%。可应用于DUV步进式晶圆光刻机照明系统、高功率激光器光束整形系统、光纤互联涡旋透镜、点阵发生器和匀光扩散器等。

衍射微纳光学元器件亦可用作光场匀化器和整形器，以克服折射微透镜阵列在尺寸、重量或光斑形状等方面的限制，能够在单个元件中实现复杂的光学功能。