产品特性
■高精度Z向直驱平台
■高精度光栅反馈
■四面高刚度气浮轴承设计
●无摩擦气缸配重
●任意多轴组合选项(XZ、XYZ)
■分辨率1nm,重复定位精度±100nm,定位精度200nm
气浮托举平台
产品特性
■高精度Z向直驱平台
■高精度光栅反馈
■四面高刚度气浮轴承设计
●无摩擦气缸配重
●任意多轴组合选项(XZ、XYZ)
■分辨率1nm,重复定位精度±100nm,定位精度200nm
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