ZURO 系列光纤光谱仪，针对集成电路制造工艺设备研发，能在半导体 Fab 环境下长期稳定工作。适用于不同场景下的刻蚀、去胶、镀膜等工艺的监控。ZURO 光谱仪具有： 1 小于 1nm 光学分辨率、25000:1 大动态范围、响应波段覆盖 200~1100nm的显著特点，经过客户端超过 10000 小时长期验证，此外，光谱仪可配备 ideaEPD 工业软件，实现多达 10 腔同时采样监控、自定义终点判断算法、历史数据再查询等功能，并可为客户提供全面的刻蚀终点检测解决方案。