乾曜光学MST技术依托于波长调谐激光器，可以应用于乾曜光学的各口径激光干涉仪。

多表面测量技术技术（MST）即是解决该难题的完美方案。多表面测量技术依托于波长调谐激光器，由于波长移相的特征是相移量与腔长相关，平行平面光学元件的每一组干涉条纹，均有一个与腔长相关的独特频率。乾曜光学的多表面测量算法通过分析一次采样数据，能独立地分离表征每个平行表面的形貌。也就是说，通过一次测量，直接得到光学镜片前表面、后表面、光学厚度变化三个特征数值。