EQ-99XFC是Hamamatsu集团旗下，先进EUV光源供应商——Energetiq公司，推出的一种超高亮度、超宽光谱（170 nm到2100 nm）、超长寿命（>9000 h）和超高稳定型的激光驱动白光光源LDLS（不是激光）。
传统弧光灯、氘灯、氙灯等灯泡采用了电极结构，所以亮度、寿命等特性受到了极大的限制，LDLS采用无电极结构，克服了这些缺点，非常适合OCD量测、薄膜量测、overlay量测、刻蚀/沉积 现场量测，反应腔监控、终点检测和光刻自调焦等半导体应用。此外，LDLS产品还能应用于生命科学与材料科学、前沿学术研究、光学传感器检测（含3C）和光学组件（如filter）检测等领域。
LDLS的工作原理是：激光经过透镜汇聚后，被用于维持LDLS内灯泡通过高压放电产生的等离子体，从而输出高亮度、长寿命、宽光谱、稳定的白光。
LDLS产品按照不同的亮度可以分为EQ99系列、EQ-77系列和EQ-400系列，选型指南见背面。此外，Energetiq公司还推出了波长可调的LDTLS产品，以及用于半导体EUV检测领域的EQ-10系列产品。
