PhableX系列光刻机，是一款面向生产光电产品的半自动曝光设备。盒式基片传送的自动化设计，提升了曝光图形的一致性和生产效率。自动的掩模和晶圆对准功能，使PhableX操作更简单更高效。在曝光大面积的亚微米周期的一维线栅、二维图案（例如六方或四方排布的图案）时，具有更高均匀性和精确。

应用领域：

 光电子器件

 光学器件

 XR（AR/VR/MR）

 激光芯片（VCSEL/DFB）

 传感器