直驱转台

产品类别:传感器、测试测量
产品属性:普通产品
应用领域:半导体

mPT-SR-P系列精密型产品通过采用高刚度和高精度机械轴承作为回转支承,获得良好的运动误差性能和较大的承载能力。高精度的增量式编码器作为位置反馈,获得0.32arc-sec运动位置分辨率。精密转台具有高的定位精度,卓越的速度稳定性和良好的动态特性。

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