依托十几年积累的激光干涉仪开发和制造能力，乾曜光学提供从紫外266nm到近红外1550nm多种波长的激光干涉仪，口径从5mm到600mm，测量模式有抗振机械移相、波长移相和瞬态载波三种不同模式，同时提供各种波长的镜头和调整架等附件。乾曜激光干涉仪广泛应用于在光刻、成像、晶体、激光雷达和红外光学系统的测试，乾曜光学提供定制不同波长的激光干涉仪和镜头。