该系统为我司自行开发、具备自主知识产权的半导体检测设备，应用于Wafer和chip工艺中需要自动化、快速检测以及高精度测量的场景，我们基于样品特点对缺陷探测精度、生产效率、易用性进行了优化，提供了自动和手动操作模式，非常适合作为生产工具和研究开发阶段的工具来使用。