桌面式紫外/深紫外PhableR光刻机

产品类别:激光加工系统 > 加工系统
产品属性:普通产品
应用领域:消费电子、电子(其他)、半导体、汽车工程、光学

PhableR系列光刻机,同时具备高分辨曝光性能和低成本的特点,是一款高性价比的桌面式光刻机。工艺和操作类似于传统的mask-aligner方式曝光机,涂有光刻胶的基片接近光刻版下方,经过紫外或深紫外光束的照射光刻版对光刻胶进行曝光。得益于DTL技术,曝光分辨率不再受到衍射效应的限制,使曝光亚微米周期的一维线栅、二维图案(例如六方或四方排布的图案)具有高均匀性和高精确度。

应用领域:

 多用途的学术科研及研发

 XR(AR/VR/MR)

 光电子器件

 光学器件

 生物/医疗

 结构色

 曝光服务

EULITHA AG

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