FilmExpert®膜厚测量仪采用一种基于多光束干涉原理，非接触式、无损的、精准而快速的光学薄膜厚度测量方法。

FilmExpert ®测试软件能够提供两种测量方式：光谱匹配和 FFT。其中前者主要用于 5um 以下的膜厚测试， FFT 测试厚膜的效果比较明显。FlmExpert ®能提供膜层厚度测量、膜层介质的折射率 n 和消光系数 k。由于配备精密的多轴系统， 可以实现随样品高度随动，以及二维的膜厚 mapping 功能。其中 mapping 提供两种选项：极坐标方案和直角坐标方案。提供多种经验证的材料库资源，同时开放用户的材料自增加功能，便于扩展。