公司简介
scia Systems开发和制造具有复杂等离子体和离子束技术的设备，用于超精密表面处理。该系统适用于涂层、蚀刻和清洁工艺，尤其适用于MEMS、微电子和精密光学行业。由于其灵活和模块化的设计，工艺设备可以根据客户对研究应用的特定要求以及“集群”或“内联”配置的大批量生产进行配置。我们广泛的加工技术包括蚀刻工艺，如离子束修整、离子束铣削和反应离子蚀刻，以及涂层工艺，如等离子束溅射、PECVD和磁控溅射。
scia Systems GmbH
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德国 | W4.4774
光学生产技术
半导体 | 光学 | 非大学研究机构 | 高等院校
我们广泛的加工技术包括蚀刻工艺，如离子束修整、离子束铣削和反应离子蚀刻，以及涂层工艺，如等离子束溅射、PECVD和磁控溅射。
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