超精密激光干涉仪由哈尔滨工业大学研制、哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司开发，集激光器、干涉镜组、信号处理卡、环境参数传感器优势于一体，实现单轴/多轴超精密激光干涉定位与测量，可作为独立测量仪器，或嵌入大型装备中使用，满足不同客户、不同应用场景下的定制化测量需求。