ITC系列薄膜沉积控制仪是一种基于石英晶体微天平(QCM)原理的薄膜可编程沉积控制器。拥有2/5/10个独立控制的、高分辨率的输入通道，能够满足不同规模的沉积系统的要求。可选的多种I/O、A/D、D/A和TC（热电偶）的定制端口，可组合成不同应用功能的控制仪。ITC具备独立的PID控制功能，再搭配多个可选的输入/输出电路板，是能够满足大型沉积设备需求的理想远程控制设备。