iFM系列芯片位置测量设备

产品类别:传感器、测试测量 > 光学测量系统
产品属性:普通产品
应用领域:电气工程、消费电子、电子(其他)、半导体、汽车工程、航天/航空、光学

iFM系列产品是星空科技工程自主研发的芯片位置测量设备,产品能够实现高精度测量样品图案位置信息,可应用于测量重构片位置、光罩图案位置等。

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