同轴摄像系统专为满足有高精度定位要求的振镜扫描加工而设计，CCD观测的图像与激光光束焦点完全同轴，于F-theta镜头及照明光源配套可实现“所见即所得”的激光加工。校正后的激光加工绝对位置精度可达到0.02mm以上。与软件配合使用可以几乎完全克服振镜温漂带来的加工位置误差。