高精度直线电机线性位移台

产品类别:激光器和光导发光元件 > 光学系统
产品属性:首发产品(将在慕尼黑光博会上首次展出)
应用领域:电气工程、消费电子、半导体、新能源/锂电、光学、非大学研究机构、高等院校

晶萃光学JCOPTIX提供高精度直线电机(直驱传动)线性位移台。直线电机采用行波磁场的电磁推力直接驱动,省去了动力传动系统中的复杂繁琐的机械部件,并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台,可实现高速度和高加速度。动力传动机构中,螺杆的回程差和长期使用的磨损,会因此类电机而不复存在,使其具有长期高精度保持性。

直线电机非常适合对精度有超高要求的定位任务,即使在最低的速度下也能保持平稳的运行,同时,在高速状态下也不会产生振动,避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制;具有极高的力的线性度,可任意设定和严格控制驱动力。

DOLL系列产品,是高精度高性价比的产品;采用直线电机直接驱动,配备交叉滚柱导轨和高精度光学反馈系统,具备非常优秀的动态性能和定位精度;可单轴独立使用,亦可通过自身孔位轻松搭配成复杂的多轴系统,应用更加广泛。

DOLL系列产品,行程50~200mm,具有负载100N,最大速度500mm/s,空载最大加速度15m/s²的优越性能,配以高响应线驱,小间距光栅,可以实现100 nm最小步进微量,DOLL产品主要应用于半导体、液晶面板、微电子制造、生物医疗等中的精密微装配、AOI、显微观测、微纳加工等应用,具有更加高效、更加稳定、更加智能等特点。同时可根据客户需求,研发,制造更高精度、更加灵活的系统解决方案。

南京晶萃光学科技有限公司

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