零刚度微振动控制平台

产品类别:光学
产品属性:首发产品(将在慕尼黑光博会上首次展出)
应用领域:光学

超精密生产与量测业、空天探测、运载与装备等精密设备的性能受到来自地板或空间环境的超低频复杂振动的影响,传统减隔振方法无法满足近零频率的隔振要求,将导致生产质量下降、残次率高、成本上升等问题,极大地影响了生产效率和新质生产力的发展。基于此,我司自主研发实现了零刚度微振动自适应控制技术及产品的国内首创,基于零刚度振动控制技术、自适应姿态电控技术、正负刚度匹配机制与基于波阻设计的结构匹配方法,实现基于新材料的机械隔振方法和电控技术深度融合,实现对超低频复杂振动的隔振,使隔振效率提升10至20倍。

零刚度隔振器(手动)

从1.0Hz开始隔振,1.4Hz以上频率可以实现-4.43dB的隔振效率,10Hz~64Hz可以实现平均-40dB的隔振效率;

单个隔振器有效载荷适用范围大;

适用于无明显动荷载的精密设备。

零刚度隔振器(自动)

从0Hz开始隔振,0~10Hz频段内可以实现-15.23dB~-33.94dB的隔振效率,10Hz~80Hz可以实现-33.94dB~-65.82dB的隔振效率;

单个隔振器有效载荷适用范围大;

适用于被隔振物质量可变或质量可移动场景;

基于监测与电控方式实现隔振器的自适应调节功能,提升用户使用体验。

桌面型零刚度隔振系统

产品型号 尺寸(mm) 负载(kg)

ZK-Table-A-100 400x300x200 100

ZK-Table-B-100 500x400x200(推荐) 100

ZK-Table-C-100 600x500x200 100

隔振技术 负刚度抵消正刚度

控制方向 三方向六自由度

隔振性能 竖向隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

水平隔振与上部质量有关,当质量在额定荷载的80%~100%时,隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

零刚度调节 自动调节

零刚度隔振器

产品型号 尺寸(mm) 负载(kg)

ZK-Isolator-50 200x200x350 50

ZK-Isolator-100 200x200x350 100

ZK-Isolator-150 200x200x350 150

ZK-Isolator-200 200x200x350 200

ZK-Isolator-250 200x200x350 250

ZK-Isolator-300 200x200x350 300

ZK-Isolator-350 200x200x350 350

ZK-Isolator-400 200x200x350 400

隔振技术 负刚度抵消正刚度

控制方向 三方向六自由度

隔振性能 竖向隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

水平隔振与上部质量有关,当质量在额定荷载的80%~100%时,隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

零刚度调节 自动调节

模块化零刚度隔振系统(600x200x200,承载800kg,900x240x200,承载1200kg)

产品型号 尺寸(mm) 负载(kg)

ZK-Block-A-500 600x250x200 500

ZK-Block-A-600 600x250x200 600

ZK-Block-A-700 600x250x200 700

ZK-Block-A-800 600x250x200 800

ZK-Block-B-1000 900x250x200 1000

ZK-Block-B-1250 900x250x200 1250

ZK-Block-B-1500 900x250x200 1500

ZK-Block-B-1750 900x250x200 1750

ZK-Block-B-2000 900x250x200 2000

隔振技术 负刚度抵消正刚度

控制方向 三方向六自由度

隔振性能 竖向隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

水平隔振与上部质量有关,当质量在额定荷载的80%~100%时,隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

零刚度调节 自动调节

气浮隔振器

气浮隔振器采用竖向采用气动技术,隔振频率低至0.7Hz以下;水平向采用单摆技术,隔振频率低至0.7Hz以下。整个系统在竖向和水平向的隔振都从1Hz开始,在10Hz时达到30dB。

技术特点:隔振频率与上部质量几乎无关,从1Hz开始都有很好的隔振效果。

自适应高度调节,精度达到1μm,确保平台优异的水平度。

产品型号 尺寸(mm) 负载(kg)

AP-Isolator-1000 250x250x600 1000

AP-Isolator-2500 300x300x600 2500

AP-Isolator-5000 400x400x600 5000

AP-Isolator-10000 600x600x800 10000

AP-Isolator-25000 800x800x800 25000

AP-Isolator-50000 1000x1000x1000 50000

隔振技术 气动技术和单摆技术

控制方向 三方向六自由度

隔振性能 竖向隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

水平隔振与上部质量有关,当质量在额定荷载的80%~100%时,隔振从1Hz开始,在10Hz时达到30dB

高度调节 自动调节

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