FilmExpert ®膜厚测量仪采用是一种基于多光束干涉原理，非接触式、无损的、精准而快速的光学薄膜厚度测量方法。FilmExpert ®测试软件能够提供两种测量方式：光谱匹配和 FFT。其中前者主要用于 5um 以下的膜厚测试， FFT 测试厚膜的效果比较明显。FlmExpert® 能提供膜层厚度测量、膜层介质的折射率 n 和消光系数 k。提供多种经验证的材料库资源，同时开放用户的材料自增加功能，便于扩展。